Yaskawa	ロボット　修理　/　オーバーホール　/　Exchangeリスト
メーカ	型式	使用装置
Yaskawa	XU-RSM0100	Ebara
Yaskawa	XU-RCM0410    (YSBL-CHA)
Yaskawa	Robot XU-RC400M	AMAT
Yaskawa	Robot XU-RC350D	Varian Implant, DNS U3000
Yaskawa	Robot XU-RCM4900	Ebara CMP Dry Robot
Yaskawa	Robot XU-RCM4901	Ebara CMP Wet Robot
Yaskawa	Robot XU-RCM4800	Ebara CMP Wet Robot
Yaskawa	Robot XU-RCM4700
Yaskawa	Robot XU-RCM53E0	Ebara CMP Wet Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Robot XU-RCME0A	Ebara CMP Dry Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Robot XU-RCM5301	Ebara CMP Wet Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Robot XU-RCM53D0	Ebara CMP Wet Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Robot XU-RSM5330	Ebara CMP Wet Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Robot XU-RCM9120	Ebara CMP Dry Robot   Ebara F-REX300E
Yaskawa	Pre-Aligner XU-ACP4801	AMAT_DPN
Yaskawa	Pre-AlignerXU-ACP4860	AMAT_FI for DPN
リストに無い型番もご相談下さい。