| Other | 修理 ・ オーバーホール リスト | |||||
| 種類 / 品名 | メーカー | 型式・P/N | 備考 | |||
| RF Generator | Daihen | MFG-15SA | ||||
| RF Generator | Daihen | MFG-20SA | ||||
| Matcher | Daihen | AMN-30C9 | ||||
| RF Generator | ADTEC | AX-1000(1000-20000) | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | ADTEC | AX-1000II RF | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | ADTEC | AX-2000II | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | ADTEC | AX-1000III | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | ADTEC | AX-2000III | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | ADTEC | MA-1CY | 430 KHz | |||
| Matcher | Trazar | SRN-1 | 13.56Mhz | |||
| Matcher | Trazar | AMU2 | 13.56Mhz | |||
| Matcher | Trazar | AMU5 | 13.56Mhz | |||
| Matcher | Trazar | AMU10 | 13.56Mhz | |||
| RF Generator | Trazar | RFG4 | ||||
| POWER SUPPLY | Lambda | EMS 5-200 | ||||
| POWER SUPPLY | Lambda | EMS 6-200-2-D-1230 | ||||
| POWER SUPPLY | Lambda | TCR20S50-2-D-0967 | ||||
| POWER SUPPLY | Lambda | TCR40TS125-1D-0745A | ||||
| POWER SUPPLY | Lambda | VA-26519 | ||||
| POWER SUPPLY | Varian | E11001040 | 使用装置：EHP-500 | |||
| POWER SUPPLY | Hitachi | 3-837826-01 | 使用装置：Hitachi M511 | |||
| POWER SUPPLY | TEL | ES1D80-001291-13 | 使用装置：TEL UNITY85DD | |||
| DC Power Unit | Hitachi | 使用装置：Hitachi M511A | ||||
| ED 5V DC Power supply | TEL | ES1D80-001291-13 | 使用装置：TEL UNITY85DD | |||
| ED ECC Power supply | TEL | 使用装置：TEL UNITY85DD | ||||
| Filament Power supply | Varian | E19002631 | 使用装置：Varian Vision80 | |||
| POWER SUPPLY | Lam | 660-098076-003 | 使用装置：Lam 9400 | |||
| M121 Power Source | TEL | DS1187-0308844-1A | 使用装置：TEL Alpha808SC | |||
| POWER SUPPLY | AMT | 0010-931 | 使用装置：ENDURA PVD | |||
| POWER SUPPLY | AMT | 0010-93146 | 使用装置：AMT MOCVD | |||
| POWER SUPPLY | APEX | APEX | 使用装置：ESD | |||
| POWER SUPPLY | Canon | 81469 | 使用装置：CANON MAS8000 | |||
| POWER SUPPLY | FUJITU DENSO | BH5-3524 | 使用装置：２X-I Line | |||
| POWER SUPPLY | FUJITU DENSO | BH5-3568 | ||||
| POWER SUPPLY | Digital | H7881-AA | 使用装置：RA1 STK | |||
| POWER SUPPLY | DNS | ５VC 0029 | 使用装置：Dainippon Screen | |||
| POWER SUPPLY | ETL | PM C01 473 | 使用装置：TECHNORAYS TREX632 | |||
| POWER SUPPLY | KLA | FT-750 | 使用装置：PROMETRICS FT-750 | |||
| POWER SUPPLY | KNIEL | CL 15.8 | 使用装置：ASML | |||
| POWER SUPPLY | Lam | 11482XA | 使用装置：LAM 45 | |||
| POWER SUPPLY | ME | MW RSP-1500-24 | NA | |||
| POWER SUPPLY | MURR | ELEKT20NIK | 使用装置：RUDOLPH SA3000 | |||
| POWER SUPPLY | NIKON | OPD | 使用装置：NIKON 5X-1 Line | |||
| POWER SUPPLY | OMRON | C-200HW-PA204 | 使用装置：KEM 3000II | |||
| POWER SUPPLY | OMRON | CQM!-PA216 | NA | |||
| POWER SUPPLY | OMRON | G3PX-260EHN | 使用装置：CANON MAS1800 | |||
| POWER SUPPLY | OMRON | S82F-1224P | 使用装置：DISCO DFG-840 | |||
| POWER SUPPLY | PEARL | KDS-30350WF | 使用装置：Hitachi M511A | |||
| POWER SUPPLY | SIEMENS | 331-1SH01 | 使用装置：SUSS Coater | |||
| POWER SUPPLY | TDK | FAK5-10K | 使用装置：VISSION80 LE | |||
| POWER SUPPLY | Varian | E11035711 | 使用装置：VISSION80 LE | |||
| POWER SUPPLY | VICOR | MP6-78102-6-LL | 使用装置：NOVELLUS | |||
| POWER SUPPLY | Simada | PBA300F-24 | 使用装置：Shimada ACA-004-A | |||
| PVD Power Supply | Kepco | 27-272441-00 | 使用装置：NOVELLUS | |||
| C2 ALTUS W Chamber Module CVD-W LPB/UPS Power Supply Breaker
Assembly |
使用装置：NOVELLUS | |||||
| Power Supply | Comdel CX-16P Comdel FP6802R5 |
27-257659-00 | 使用装置：NOVELLUS | |||
| ESC POWER SUPPLY | TRAZAR ECC1-1 | 27-034079-01 | 使用装置：NOVELLUS | |||
| HIGH VOLTAGE | CONTEQ | 27-034079-00 | 使用装置：NOVELLUS | |||
| POWER SUPPLY 24V1200W | OMEGA | MG2-1F-1F-C | ||||
| POWER SUPPLY | TAKASAGO | GP060-20R | ||||
| POWER SUPPLY | SERV.430.14752 SUPPLY | 4022-430-14752 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| LAMP POWER SUPPLY | SCHAFER | 4022.476.01142 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | PNEUMATIC UNIT3 MARK2 | 4022.454.3718 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| Power Supply(3500W) | Delta IPS | 4022.436.7871 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| Main Switch Unit | Serv.502.27611 | 4022.436.31002 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| Logic Power Supply | 4022.436.1064 | 使用装置：ASML （露光装置） | ||||
| Power Supply Module | PAAC 400/16 | 4022.471.7312 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| Power Supply Module | PAAC 450/20 | 4022.471.7669 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | Kniel Typ:CP3,3.20 | 4022.436.74321 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | Kniel Typ:CP15.40PC | 4022.476.01051 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | Long Stroke (375V) | 4022.436.5430 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | Long Stroke (375V) | 4022.437.25521 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | Short Stroke(48V) | 4022.436.4308 | 使用装置：ASML （露光装置） | |||
| HV Power Supply | MATSUSADA | 6CH PIEZO | 使用装置：NIKON （露光装置） | |||
| POWER SUPPLY | TEL | 181G /343 DC Power | 使用装置：TEL ACT8 | |||
| POWER SUPPLY | TEL | 181D AC Power | 使用装置：TEL ACT8/ACT12 | |||
| WEE Lamp Housing | TEL | 1380-002525-13 | 使用装置：TEL ACT8/MK8 | |||
| WEE Lamp Housing | TEL | 1380-001632-14 | 使用装置：TEL ACT8/MK8 | |||
| POWER SUPPLY | SMC INR 244-216 | 2980-190338-WT | 使用装置：TEL ACT8 | |||
| COOLING POWER SUPPLY | SMC INR-244-217B | 2980-190339-13 | 使用装置：TEL | |||
| Circulator POWER | SMC INR-244-215A | 2980-190513-12 | 使用装置：TEL | |||
| Power Supply Module | Lambda | JWS100-24A 24V 4.5A | 使用装置：TEL | |||
| AC Power Box | Clean Track AC Power Box | PB1-U125-010-7 | 使用装置：TEL ACT 8 | |||
| WEE Lamp Housing | Hoya-Schott WEE | CT2985-411701-W3 HU250T-A | 使用装置：TEL ACT 8/12 | |||
| POWER SUPPLY | SMC Thermco-Con | INR-244-216A | 使用装置：TEL | |||
| POWER SUPPLY | SMC Thermco-Con | INR-244-216U | 使用装置：TEL | |||
| リストに無い型番もご相談下さい。 | ||||||