ENI / AMAT	修理　・　オーバーホール　リスト
	種類 / 品名	メーカー	型式・P/N	備考
	ENI RF Generator	ENI /AMAT	0090-09025	13.56Mhz
	DC / RF Supply	ENI /AMAT	0190-36274
	RF Generator	ENI /AMAT	0190-36275
	DC / RF Supply	ENI /AMAT	0190-36308	Low Frequency
	DC / RF Generator	ENI /AMAT	0190-36686	13.56Mhz
	RF Generator	ENI /AMAT	0190-70080	13.56Mhz
	RF Generator	ENI /AMAT	0190-76028	13.56Mhz
	RF Generator	ENI /AMAT	0190-76048	13.56Mhz
	リストに無い型番もご相談下さい。