KLA Surfscan SP1 DLS / TBI
KLA Surfscan SP2
KLA PUMA 91 xx
レーザーモジュール交換・調整トレーニング
対象設備
KLA-Tencor　Serfscan　SP1　DLS / TBI、SP2　、PUMA
★　専用TooLを使ったレーザーモジュールの交換方法及び調整方法のトレーニングを行ないます。
予備知識の差により変わりますが、おおよそ1週間程度のトレーニングにより交換と調整が可能になります。